ପରିବେଶ ସୁରକ୍ଷା ଉପରେ ଅଧିକ ଧ୍ୟାନ ଦିଆଯାଉଛି, ବିଶେଷକରି କୁହୁଡ଼ି ପାଗର ବୃଦ୍ଧି ସହିତ। ସ୍ୱଚ୍ଛ କୋଠରୀ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ହେଉଛି ପରିବେଶ ସୁରକ୍ଷା ପଦକ୍ଷେପ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ପରିବେଶ ସୁରକ୍ଷାରେ ଭଲ କାମ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ୱଚ୍ଛ କୋଠରୀ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂକୁ କିପରି ବ୍ୟବହାର କରିବେ? ଆସନ୍ତୁ ସ୍ୱଚ୍ଛ କୋଠରୀ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରିବା।
ସଫା କୋଠରୀରେ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
ପରିଷ୍କାର ସ୍ଥାନର ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ମୁଖ୍ୟତଃ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ଆଧାରିତ ହୋଇଥାଏ, କିନ୍ତୁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ସମୟରେ, ମାନବ ଆରାମକୁ ବିଚାରକୁ ନିଆଯିବା ଉଚିତ। ବାୟୁ ପରିଷ୍କାର ଆବଶ୍ୟକତାର ଉନ୍ନତି ସହିତ, ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ପାଇଁ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତାର ଧାରା ରହିଛି।
ଏକ ସାଧାରଣ ନୀତି ଭାବରେ, ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣର ବର୍ଦ୍ଧିତ ସଠିକତା ଯୋଗୁଁ, ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ପରିସର ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକ ଛୋଟ ଏବଂ ଛୋଟ ହେବାରେ ଲାଗିଛି। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ବଡ଼-ସ୍ତରର ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନର ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏବଂ ଏକ୍ସପୋଜର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ମାସ୍କ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ଲାସ୍ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ମଧ୍ୟରେ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କର ପାର୍ଥକ୍ୟ କ୍ରମଶଃ ଛୋଟ ହେବାରେ ଲାଗିଛି।
୧୦୦ μm ବ୍ୟାସ ବିଶିଷ୍ଟ ଏକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ତାପମାତ୍ରା ୧ ଡିଗ୍ରୀ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଲେ ୦.୨୪ μm ର ରେଖୀୟ ବିସ୍ତାର ସୃଷ୍ଟି କରେ। ତେଣୁ, ± ୦.୧ ℃ ର ସ୍ଥିର ତାପମାତ୍ରା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ମୂଲ୍ୟ ସାଧାରଣତଃ କମ୍ ଥାଏ କାରଣ ଝାଳ ପରେ, ଉତ୍ପାଦ ଦୂଷିତ ହେବ, ବିଶେଷକରି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ୱାର୍କସପ୍ସରେ ଯାହା ସୋଡିୟମ୍ ଠାରୁ ଭୟଭୀତ। ଏହି ପ୍ରକାର ୱାର୍କସପ୍ ୨୫ ℃ ଅତିକ୍ରମ କରିବା ଉଚିତ୍ ନୁହେଁ।
ଅତ୍ୟଧିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଅଧିକ ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଯେତେବେଳେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 55% ଅତିକ୍ରମ କରେ, ସେତେବେଳେ ଶୀତଳୀକରଣ ପାଣି ପାଇପ୍ କାନ୍ଥରେ ଘନୀଭୂତ ହୁଏ। ଯଦି ଏହା ସଠିକ୍ ଉପକରଣ କିମ୍ବା ସର୍କିଟରେ ଘଟେ, ତେବେ ଏହା ବିଭିନ୍ନ ଦୁର୍ଘଟଣାର କାରଣ ହୋଇପାରେ। ଯେତେବେଳେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 50% ହୁଏ, ସେତେବେଳେ ଏହା କଳଙ୍କି ଲାଗିବା ସହଜ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ଯେତେବେଳେ ଆର୍ଦ୍ରତା ଅତ୍ୟଧିକ ହୁଏ, ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ଲାଗିଥିବା ଧୂଳି ବାୟୁରେ ଥିବା ଜଳ ଅଣୁ ମାଧ୍ୟମରେ ପୃଷ୍ଠରେ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ଶୋଷିତ ହେବ, ଯାହାକୁ ବାହାର କରିବା କଷ୍ଟକର।
ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଯେତେ ଅଧିକ ହେବ, ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଦୂର କରିବା ସେତେ କଷ୍ଟକର ହେବ। ତଥାପି, ଯେତେବେଳେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 30% ତଳେ ଥାଏ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ବଳର କାର୍ଯ୍ୟ ଯୋଗୁଁ କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ପୃଷ୍ଠରେ ସହଜରେ ଶୋଷିତ ହୋଇଯାଆନ୍ତି, ଏବଂ ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣ ଭାଙ୍ଗିଯିବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ। ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ସର୍ବୋତ୍ତମ ତାପମାତ୍ରା ପରିସର 35-45%।
ବାୟୁ ଚାପନିୟନ୍ତ୍ରଣସଫା କୋଠରୀରେ
ଅଧିକାଂଶ ସଫା ସ୍ଥାନ ପାଇଁ, ବାହ୍ୟ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ପ୍ରବେଶ କରିବାରୁ ରୋକିବା ପାଇଁ, ବାହ୍ୟ ଚାପ (ସ୍ଥାପକ ଚାପ) ଅପେକ୍ଷା ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚାପ (ସ୍ଥାପକ ଚାପ) ଅଧିକ ରଖିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଚାପ ପାର୍ଥକ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ସାଧାରଣତଃ ନିମ୍ନଲିଖିତ ନୀତିଗୁଡ଼ିକ ପାଳନ କରିବା ଉଚିତ:
୧. ସଫା ସ୍ଥାନଗୁଡ଼ିକରେ ଚାପ ଅସଫା ସ୍ଥାନ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ହେବା ଉଚିତ।
୨. ଉଚ୍ଚ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ସ୍ତର ଥିବା ସ୍ଥାନଗୁଡ଼ିକରେ ଚାପ କମ୍ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ସ୍ତର ଥିବା ନିକଟବର୍ତ୍ତୀ ସ୍ଥାନଗୁଡ଼ିକ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ହେବା ଉଚିତ।
୩. ସଫା କୋଠରୀ ମଧ୍ୟରେ ଥିବା ଦ୍ୱାରଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ସ୍ତର ଥିବା କୋଠରୀ ଆଡ଼କୁ ଖୋଲାଯିବା ଉଚିତ।
ଚାପ ପାର୍ଥକ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ତାଜା ପବନର ପରିମାଣ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ଯାହା ଏହି ଚାପ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଅଧୀନରେ ଥିବା ଫାଙ୍କରୁ ବାୟୁ ଲିକେଜ୍ ପାଇଁ କ୍ଷତିପୂରଣ ଦେବା ପାଇଁ ସକ୍ଷମ ହେବା ଉଚିତ। ତେଣୁ ଚାପ ପାର୍ଥକ୍ୟର ଭୌତିକ ଅର୍ଥ ହେଉଛି ସଫା କୋଠରୀରେ ବିଭିନ୍ନ ଫାଙ୍କ ଦେଇ ଲିକେଜ୍ (କିମ୍ବା ଅନୁପ୍ରବେଶ) ବାୟୁ ପ୍ରବାହର ପ୍ରତିରୋଧ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁଲାଇ-୨୧-୨୦୨୩